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| 3D003 | «Logiciels» de ‘lithographie computationnelle’ spécialement conçus pour le «développement» de figures sur des masques ou réticules de lithographie EUV. Note technique: La ‘lithographie computationnelle’ est l’utilisation de modélisations informatiques pour prévoir, corriger, optimiser et vérifier les résultats d’imagerie du procédé de lithographie pour une série de figures, de procédés et de conditions du système.
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Source: EUR-Lex (Cellar) · retrieved 2026-10-27 · Text as adopted (Official Journal); later amendments are not incorporated in this text.