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| 3E004 | «Technologie»«nécessaire» pour la découpe, le meulage et le polissage de plaquettes en silicium d’un diamètre de 300 mm afin de parvenir à une valeur de planéité ‘SFQR’ (‘Site Front least sQuares Range’) inférieure ou égale à 20 nm pour tout site de 26 mm x 8 mm sur la face avant de la plaquette et un espace marginal inférieur ou égal à 2 mm. Note technique: Aux fins du paragraphe 3E004, ‘SFQR’ est la plage entre l’écart maximal et minimal par rapport au plan de référence de la face avant, calculée selon la méthode des moindres carrés à partir de toutes les données de la face avant, y compris la délimitation à l’intérieur d’un site.

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Source: EUR-Lex (Cellar) · retrieved 2026-10-27 · Text as adopted (Official Journal); later amendments are not incorporated in this text.