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| 6A004 | Équipements et composants optiques, comme suit: a. miroirs optiques (réflecteurs), comme suit: Note technique: Aux fins de l’alinéa 6A004.a., le seuil d’endommagement provoqué par laser est mesuré conformément à la norme ISO 21254-1:2011. N.B. En ce qui concerne les miroirs optiques spécialement conçus pour le matériel de lithographie, voir le paragraphe 3B001. 1. ‘miroirs déformables’ ayant une ouverture optique active supérieure à 10 mm et présentant l’une des caractéristiques suivantes, ainsi que leurs composants spécialement conçus: a. présentant toutes les caractéristiques suivantes: 1. une fréquence de résonance mécanique égale ou supérieure à 750 Hz; et 2. plus de 200 actionneurs; ou b. l’un des seuils d’endommagement provoqué par laser suivants: 1. supérieur à 1 kW/cm2 si on utilise un «laser à onde entretenue»; ou 2. supérieur à 2 J/cm2 si on utilise des impulsions «laser» de 20 ns à une fréquence de répétition de 20 Hz; Note technique: Les ‘miroirs déformables’ sont des miroirs présentant l’une des caractéristiques suivantes: a. une seule surface de réflexion optique continue qui est déformée de manière dynamique par l’application de couples ou de forces élémentaires afin de compenser les distorsions présentes dans l’onde optique incidente sur le miroir; ou b. des éléments optiques multiples de réflexion pouvant être repositionnés de manière individuelle et dynamique par l’application de couples ou de forces afin de compenser les distorsions présentes dans l’onde optique incidente sur le miroir. Les ‘miroirs déformables’ sont aussi dénommés miroirs à optique adaptative. 2. miroirs monolithiques légers, d’une «masse surfacique équivalente» moyenne de moins de 30 kg/m2 et d’un poids total supérieur à 10 kg; Note: L’alinéa 6A004.a.2. ne vise pas les miroirs conçus spécialement pour diriger le rayonnement solaire dans les installations terrestres comportant des heliostats. 3. structures légères de miroirs «composites» ou cellulaires, d’une «masse surfacique équivalente» moyenne de moins de 30 kg/m2 et d’un poids total supérieur à 2 kg; Note: L’alinéa 6A004.a.3. ne vise pas les miroirs conçus spécialement pour diriger le rayonnement solaire dans les installations terrestres comportant des heliostats. 4. miroirs spécialement conçus pour les montures de miroirs d’orientation du faisceau visées à l’alinéa 6A004.d.2.a. ayant une planéité de λ/10 ou meilleure (λ est égal à 633 nm) et présentant l’une des caractéristiques suivantes: a. diamètre (ou longueur de l’axe principal) supérieur ou égal à 100 mm; ou b. présentant toutes les caractéristiques suivantes: 1. diamètre (ou longueur de l’axe principal) supérieur à 50 mm mais inférieur à 100 mm; et 2. l’un des seuils d’endommagement provoqué par laser suivants: a. supérieur à 10 kW/cm2 si on utilise un «laser à onde entretenue»; ou b. supérieur à 20 J/cm2 si on utilise des impulsions «laser» de 20 ns à une fréquence de répétition de 20 Hz; b. composants optiques composés de séléniure de zinc (ZnSe) ou de sulfure de zinc (ZnS) transmettant dans la gamme de longueurs d’onde supérieure à 3 000 nm mais non supérieure à 25 000 nm, et présentant l’une des caractéristiques suivantes: 1. volume supérieur à 100 cm3; ou 2. diamètre (ou longueur de l’axe principal) supérieur à 80 mm et épaisseur (profondeur) supérieure à 20 mm; c. composants «qualifiés pour l’usage spatial» pour systèmes optiques, comme suit: 1. composants allégés jusqu’à moins de 20 % de «masse surfacique équivalente» par rapport à une ébauche pleine ayant la même ouverture et la même épaisseur; 2. substrats bruts, substrats ayant un revêtement de surface (monocouches ou multicouches, métalliques ou diélectriques, conducteurs, semi-conducteurs, ou isolants), ou comportant des films protecteurs; 3. segments ou ensembles de miroirs conçus pour être assemblés dans l’espace en un système optique ayant une ouverture collectrice équivalente à ou plus grande que celle d’une optique unique de 1 mètre de diamètre; 4. composants fabriqués à partir de matériaux «composites» ayant un coefficient de dilatation thermique linéaire, dans toute direction, égal ou inférieur à 5 × 10-6/K; d. équipements de commande pour optiques, comme suit: 1. équipements spécialement conçus pour préserver la courbure de face ou l’orientation des composants «qualifiés pour l’usage spatial» visés aux alinéas 6A004.c.1. ou 6A004.c.3.; 2. équipements d’orientation, de poursuite, de stabilisation ou d’alignement du résonateur, comme suit: a. montures de miroirs d’orientation du faisceau conçues pour des miroirs dont le diamètre (ou la longueur de l’axe principal) est supérieur à 50 mm et présentant l’ensemble des caractéristiques suivantes, ainsi que leurs équipements de commande électronique spécialement conçus: 1. un déplacement angulaire maximal égal ou supérieur à ±26 mrad; 2. une fréquence de résonance mécanique égale ou supérieure à 500 Hz; et 3. une «précision» angulaire égale ou inférieure à (meilleure que) 10 μrad (microradians); b. équipements d’alignement du résonateur ayant des largeurs de bande égales ou supérieures à 100 Hz et une «précision» égale ou inférieure à (meilleure que) 10 μrad; 3. cardans présentant toutes les caractéristiques suivantes: a. un débattement maximal supérieur à 5°; b. une bande passante égale ou supérieure à 100 Hz; c. des erreurs de pointage angulaire égales ou inférieures à 200 μrad (microradians); et d. présentant l’une des caractéristiques suivantes: 1. comportant un axe principal ou un diamètre dépassant 0,15 m mais ne dépassant pas 1 m et capables d’effectuer des accélérations angulaires de plus de 2 rad (radians)/s2; ou 2. comportant un axe principal ou un diamètre supérieur à 1 m et capables d’effectuer des accélérations angulaires de plus de 0,5 rad (radians)/s2; 4. non utilisé. e. ‘éléments optiques asphériques’ présentant toutes les caractéristiques suivantes: 1. dimension la plus grande de l’ouverture optique supérieure à 400 mm; 2. rugosité de surface inférieure à 1 nm (valeur quadratique moyenne) pour des longueurs d’échantillon égales ou supérieures à 1 mm; et 3. magnitude absolue du coefficient de dilatation thermique linéaire inférieure à 3 × 10-6/K à 25 °C. Notes techniques: 1. Un ‘élément optique asphérique’ est tout élément utilisé dans un système optique dont la ou les surfaces d’image sont conçues pour s’écarter de la forme d’une sphère idéale. 2. Les fabricants ne sont pas tenus de mesurer la rugosité de surface visée à l’alinéa 6A004.e.2., sauf si l’élément optique a été conçu ou produit dans le but de respecter, ou de dépasser, le paramètre de contrôle. Note L’alinéa 6A004.e. ne vise pas les ‘éléments optiques asphériques’ présentant l’une des caractéristiques suivantes: a. plus grande dimension d’ouverture optique inférieure à 1 m et un ratio distance focale/ouverture égal ou supérieur à 4,5:1; b. plus grande dimension d’ouverture optique égale ou supérieure à 1 m et un ratio distance focale/ouverture égal ou supérieur à 7:1; c. conçus comme éléments optiques Fresnel, à lentille multiple, à bandes, à prisme ou diffringente; d. fabriqués avec du verre borosilicaté ayant un coefficient de dilatation thermique linéaire supérieur à 2,5 × 10-6/K à 25 °C; ou e. élément optique à rayons X possédant des caractéristiques de miroir interne (par exemple les miroirs à tubes). N.B. Pour les ‘éléments optiques asphériques’ spécialement conçus pour les équipements de lithographie, voir le paragraphe 3B001. f. équipements de mesure de front d’onde dynamiques présentant toutes les caractéristiques suivantes: 1. ‘cadences’ égales ou supérieures à 1 kHz; et 2. précision de front d’onde égale ou inférieure à (meilleure que) λ/20 à la longueur d’onde prévue. Note technique: Aux fins de l’alinéa 6A004.f., la ‘cadence’ est la fréquence à laquelle tous les «pixels actifs» de la «matrice plan focal» sont lus pour l’enregistrement des images projetées par les optiques du capteur de front d’onde.

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Source: EUR-Lex (Cellar) · retrieved 2026-10-27 · Text as adopted (Official Journal); later amendments are not incorporated in this text.